碳化硅舟是通过化学气相沉积法制备，经过切割、退火、组装、清洗等多道工序获得的纯固态多晶碳化硅产品，电阻率可定制，品质对齐国际一流水准。
作为高温热处理、扩散、氧化、退火、外延、烧结等工艺里的核心承载治具，起到承载晶圆/基片，在高温炉管中实现平稳传输、可靠支撑以及温度均匀性控制，满足晶圆生产过程中的严苛要求。
