碳化硅涂层接地环是通过化学气相沉积法制备，经过研磨、氧化、清洗等多道工序获得的纯固态多晶碳化硅产品，最大直径380mm，电阻率覆盖高、中、低阻，品质对齐国际一流水准。
主要应用等离子体刻蚀设备，位于反应腔上部，环绕晶圆承载台，是刻蚀系统的关键组件，具备较高的耐高温、抗腐蚀、高纯度特性，可进一步保障先进制程的工艺精度，是提升设备效率、降低生产成本的关键部件。
