碳化硅电极是通过化学气相沉积法制备，经过研磨、氧化、清洗等多道工序获得的纯固态多晶碳化硅产品， 最大直径330mm，电阻率覆盖高、中、低阻，品质对齐国际一流水准。
主要应用于刻蚀设备，作为等离子体激发电极，提供稳定放电通道。具备高导电、耐极端环境、耐高温蚀、 低损耗等关键能力，可提升设备效率与稳定性，满足高功率、长周期稳定运行的产线需求。
