碳化硅挡片是通过化学气相沉积法制备，经过研磨、氧化、清洗等多道工序获得的纯固态多晶碳化硅产品，最大直径330mm，电阻率覆盖高、中、低阻，品质对齐国际一流水准。
作为晶圆替身，在新机台或维护后，可通过模拟真实工艺，使腔体温度、气流、射频功率等参数达到稳定状态，避免直接生产导致的批次性缺陷。通过其卓越的耐高温、抗腐蚀、高纯度特性，可大幅提升设备效率与工艺稳定性。
