多晶硅电极接地环是通过定向凝固法制备，经过切割、研磨、抛光、清洗等多道工序获得的多晶硅产品，最大直径430mm，电阻率覆盖高、中、低阻，品质对齐国际一流水准。
主要应用于刻蚀设备上电极系统，用于电极的接地与防护，保障设备中电极系统稳定性，避免静电积聚与电弧损伤。产品可满足耐高温、耐腐蚀、高电学性能稳定性的严苛要求，拥有极高的电导率均匀性与抗热震能力，可通过稳定的接地性能影响刻蚀的均匀性，满足先进逻辑制程、3D NAND存储制程的产线需求。
