硅环是通过MCZ直拉法制备，经过切割、研磨、抛光、清洗等多道工序获得的单晶硅产品，最大直径470mm，电阻率覆盖高、中、低阻，品质对齐国际一流水准。
主要应用于刻蚀设备，拥有9N级以上的超高纯度以及抗等离子体腐蚀能力，可通过控制纯度、电阻、含氧量等指标进而影响晶圆蚀刻的均匀性与精度，满足FinFET等先进半导体制程高精度需求。
